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典型应用场景:
半导体制造与检测:光刻机工件台基座、探针台主体结构、晶圆检测设备机架。
高精度测量:三坐标测量机(CMM)基座、激光干涉仪平台、光学计量设备骨架。
高端自动化:芯片贴装设备、精密点胶机、超精密运动平台的基础结构。